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千赢国际环保水处理基本知识普及-含氟废水处理工艺

文章出处:工业废水处理网责任编辑:seven作者:seven人气:-发表时间:2018-12-18 00:00:00【

千赢国际环保水处理基本知识普及-含氟废水处理工艺

 

千赢国际作为一家专业的水处理环保公司致力于中国环保而为之努力,其实中国许多企业对于污水处理工程中的水处理环保设备并不是十分了解,作为工业废水领域里行业老兵,在水处理技术的工程应用方面有着自己独到的见解,所以下面就环保水处理中的基本知识给大家做一下简单的普及,本文以技术部的经验着重介绍一下含氟废水处理工艺

 

半导体行业生产工艺复杂,工艺步骤高达300余步, 同时使用多种化学试剂和特殊气体。主要生产工序 包括:硅片清洗、氧 扩散、化学气相沉积(CVD) 光刻、去胶、干法刻蚀(DE)、湿法腐蚀(WE)、离子 注入、金属化(溅射镀膜PVD、电镀铜)、化学机械抛 CMP、检测。其中刻蚀工序等使用氢氟酸、氟化 铵及用高纯水清洗,清洗气体NF3等这就是含氟废水主要的来源。 含氟废水,对粘膜、呼吸道、眼睛、皮肤组织有 极强的破坏作用。吸人后可因喉及支气管的炎症、水 肿、痉挛及化学性肺炎、肺气肿而致死。中毒表现有 烧灼感、咳嗽、喘息、喉炎、气短、头痛、恶心和呕吐。

 

含氟废水的处理方法有很多,如吸附法、冷冻法、离子交换树脂除氟法、活性炭除氟法、超滤法、电 渗析法,至今很少推广应用,主要原因成本高,除氟 率低。目前最实用的是以化学沉淀法和混凝沉淀法为基础形成的一些处理措施

 

氟化物含量是水质一项重要的毒理学指标,广泛存在于自然界的水体中,同时也是人体必需的微量元素之一,饮用水中氟的适宜浓度为0.5~1.0mg/L,当人群长期饮用高氟水时会致病,给人类健康带来严重危害,而一般半导体或者太阳能厂(尤其是单晶/多晶太阳能电池片厂,每天的HF使用量达数吨),均存在含氟废水产生,含氟废水处理系统,是厂务水系统里面最常见的废水处理系统。本篇介绍最常用的含氟废水处理工艺-化学沉淀法和混凝沉淀法:

 

1)流程及控制指标:

中产生的废水收集于收集池中,经水泵提升至中和池调节pH值;后流入第一反应池,废水中的F-Ca 2+反应生成CaF2沉淀(难溶物质,俗称萤石);后流入第二反应池,CaF2PAC发生电离子和水解作用,同时 发生络和反应,提高CaF2的颗粒大小,增强CaF2  沉降性能 ;废水流入絮凝池,PAM通过架桥的作用进一步提高沉淀的沉降性能(絮凝和混凝过程);反应后的废水在沉 淀池中实现泥水分离。 然后通过沉淀池气动隔膜泵将沉淀池污泥打入污泥脱水机,进行脱水处理外运、委托第三方具有资质的厂商进行处理。

中和池、第一反应池、第二反应池和絮凝池都装 有搅拌机,与含氟废水的输送泵联动。CaCl2:在流程中有二个投加点,目的是逐级加药,节省加药量。设置H2SO4NaOH加药管,当加碱量过多的情况下,适量投加H2SO4进行中和。 

2)系统控制

系统一般采用PLC全自动控制,中和池、第一反应池、第二反应池均配备在线的pH计和氟表,随时检测废水的数据。H2SO4 NaOHCaCL2的加药管道采用 环路设计,既可以保证化学品的均匀,又便于控制加 药管道上的自动阀,根据在线仪表的数据及时调整中和池、第一反应池和第二反应池的pH值加药量。保持弱碱性反应条件,三个池子都安装H2SO4NaOH加药管,当加碱量过多的情况 下,适量投加H2SO4进行中和。  

反应池1、反应池2及出水的 pH均控制在7.58.5范围内,为去除F-最佳pH条件; 反应池1中的F-离子浓度范围比较广,介于100 mgL- 500 mgL之间;反应池2中的F-浓度范围介于75 mgL140 mgL;以反应池1中的F-浓度为进水浓 度,去除率为90%左右; 在实际运行中,经该系统处理后的氢氟酸废水 排放要求控制在50 ppm80 ppm,然后在最终出流 池和厂内其他车间排出的水量为350 m3 H,与处理后 的无氟废水混合,稀释后的氟离子浓度均能小于20 ppm(三级排放标准,也是一般市政污水处理厂纳管标准)。既节省了化学品的费用,又能达到排放标准。

 

在半导体行业,含氟废水选用投加 CaC12处理含氟废水是一种经济可行的处理方法,该处理方法操作简 ,处理费用低;除去设备折旧费和人工费,估计处理费 约为3-5/m3。。 

(2)pH对药剂的投加量和处理效果的影响非常明显,将含氟废水的pH值先调整到7.5 8.5,再投加CaCI2处理,可以节约药剂的用量。 

 

(3)在混合反应槽底部和连接管道中均有CaF2 沉淀,需要定期清洗混合反应槽和更换管道。含氟 废水处理装置的连接管道在满足水力要求的基础 上,设计时应适当放大管径,避免由于CaF2 粘附在 管子内壁造成过流面积减少。 

(4)在线的pHF-探头需要定期清洗和校正,建议至少1-2周进行1次,除去黏附在探头上的caF2,保证及时、 准确地检测数据。 

(5)鉴于含氟废水的强腐蚀性,有关的反应容 器,管道,搅拌器和水泵等,宜采用FRPPP材质。 

 

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